電容式壓力變送器壓力變送器,是以大氣壓(或真空)為參考端測量的壓強信號,只有一個端口和工藝管道連接。
其工作原理是硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應變時,其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級狀態(tài)會發(fā)生變化,從而導致其電阻率劇烈變化,這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構(gòu)成惠斯通電橋,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。
當壓力直接或間接的作用在測量硅片的表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,測量硅片形變的高精度電路將這個微小的形變變換成為與壓力成正比的電壓信號,經(jīng)過溫度壓力補償,然后采用專用芯片將這個電壓信號轉(zhuǎn)換為工業(yè)標準的4-20mA電流信號或者1-5V電壓信號。
由于測量膜片檢測電路采用集成電路,內(nèi)部包含線性及溫度補償電路,所以可以做到高精度和高穩(wěn)定性,方便各種復雜的工業(yè)環(huán)境現(xiàn)場使用。